杰力科技DN2860R在扩散炉\PECVD上的应用

设备功能介绍：　　本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺，通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心。　　应用产品型号：　　DN2860R、57HS7640A、BHYT57-22、57HS6640A

　　产品应用介绍：　　热扩散炉用2个DN2860R、2个57HS7640A;　　(PECVD用1个BHYT57-22、1个BHYT57-22、1个57HS6640A)　　步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动，一个电机装在模块上，通过变速箱+丝杠带动模块做上下运动，一个电机通过皮带+滚珠丝杠带动模块水平运动。　　设备中共有四个工控机，每个工控机控制两个驱动器(一个模块)。　　目的是送料进入炉中，或从炉中取料出来。　　应用环境参数：　　负载：同步带负载，长度3米。　　上位机：研祥工控机，　　控制模式：主机控制模式，C++语言编程，客户自己编写程序;RS485通讯，两轴控制，无需插补运动;正反转限位提供机械保护;　　电源：24V开关电源;　　细分：20000 step/rev;　　速度：300rpm;　　动作，低速往复运动，运行10分钟，静止1小时。　　客户选用的原因：　　主机编程控制，实现全数字化控制，抗干扰能力强。

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